可加工的材料: Si3N4, PH II, PH IIS
可製作的孔形: 圖形或方形的直通孔或錐形孔。
加工能力:
深徑比 <=15,方孔R角5um max.最小方孔: 30um*30um*0.25mm, gape 12um min.
