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產品專區
探針卡設備機構製作
景美清楚Probe Card Room的作業流程與客戶使用的需求，以自有的設計能力, 設計並製作提供簡易、便利，符合客戶所需的治具與設備。
高剛性龍門式顯微鏡平台｜Probe Card 維修專用
專為大型探針卡維修設計，本系統採用龍門式結構，提供高剛性與低振動的穩定觀測環境。
支援XYZ精密移動，並具備顯微鏡傾角調整機構（約±20°），可靈活切換觀測角度，提升探針細節辨識能力。產品優勢
大尺寸檯面設計
支援V93K D/D、UltrFlex D/D、UltraFlex Plus、V93K DUO DUT等最大尺寸探針卡， 滿足先進封測需求
XYZ高荷重移動機構
顯微鏡可於三軸方向平順移動，快速定位任意觀測區域
顯微鏡傾角調整（±10°）
可進行斜視觀測（Oblique Viewing），有效檢視探針側面形貌、接觸角度與磨耗狀態，補足傳統垂直觀測的死角
龍門式高剛性架構
有效減少撓曲與共振，提高觀測穩定性與重複精度
開放式作業空間 便於人員操作與維修工具進出，提升維修便利性
探針 CCC / MAC 特性分析系統
產品優勢
靈活的測試邏輯： 預設 ISMI CCC標準流程，同時支援MAC (最大允許電流)模式或其他自定義模式，適應不同客戶的規範。
精準力學捕捉： 搭載解析度 0.1 gm 的負荷感測器，即時監測熱應力下的針壓衰減，準確抓取 80% ~60%物理失效臨界點。
微米級位移控制： 整合高精度自動位移Z軸（解析度≦1um），確保 Overdrive 設定的重現性，消除人工調機誤差。
自動化報表輸出： 一鍵產出「電流-力-位移」特性曲線，可直接用於探針規格書編製。
穩定且長時： 針對 120 秒甚至更長時的持續電流負載設計，確保量測系統在高電流下不產生漂移。
Probe Card磨針機
外觀及性能
- 尺寸: 750 x 750 x 約850 (mm)
重量: 約400 Kg
檯面尺寸: 750 x 750 (mm)
研磨面: 160 x 160 (mm) - Z軸行程: 約55 (mm)
Z軸最小進給: 1 (um)
研磨平行度: ±5 (um)
產品優勢
• 可更換式針卡基座設計。
• 最大可裝配探針卡 PCB : 93K D/D、UltraFlex、UltraFlex Plus。
• 具備手動及自動程序磨針功能
• Z軸附手輪操作，更加直覺化及便利。
• 可精密控制研磨高度，最小進給量1um。
• 配有CCD取像，即時觀察針尖狀況。- 尺寸: 750 x 750 x 約850 (mm)