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探針卡零組件

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產品諮詢

探針卡(probe card)為晶圓測試時的重要測試介面,製程上包含多項先進製造技術。晶圓在未切割、IC封裝前須透過Probe Card測試晶圓品質,以避免不良品封裝,是積體電路製造中影響甚巨的重要技術與介面。本公司在探針卡零組件製造領域深耕多年,不斷地提升各零組件的加工精度,以達到探針卡的最佳使用效果,讓客戶可以在使用探針卡時能發揮最精準的檢測功能。

產品介紹

高針數/高密度需求

  • 背景:先進製程晶片具備更多I/O接點,導致探針卡需支援更高的針數與更小的pitch距離。
  • 主要需求:
    • 支援超過5萬針以上的大型陣列(high pin count)。
    • 支援微小pitch,例如40μm以下的pad pitch
    • 具備穩定的機械強度與可靠接觸壓力。

高速訊號測試能力

  • 背景:5GAIHPC等應用驅動高速SoC晶片,需要高頻訊號完整性的測試。
  • 主要需求:
    • 支援多GHz等級的高速信號測試。
    • signal integritySI)與power integrityPI)的要求更高。
    • 使用低阻抗與短距離的probe structure,降低信號損耗與cross-talk

多顆同時測試(Multi-DUT)能力

  • 背景:提升測試產能、降低單顆測試成本,是核心訴求。
  • 主要需求:
    • 支援單次多顆晶圓測試(如4顆、8顆或16DUT)。
    • 探針卡需具備穩定的parallel test架構。
    • 減少測試時間、提升每小時UPHunit per hour)。

高可靠性與長壽命

  • 背景:探針卡屬於高單價消耗品,穩定性與壽命會直接影響良率與生產成本。
  • 主要需求:
    • 高循環壽命(如超過百萬次接觸循環)。
    • 針尖磨損控制技術,降低cleaning頻率。
    • 精密製造工藝與自我診斷機能(例如built-in monitoring)。

客製化設計與快速交付

  • 背景:每一類晶片封裝、pad layout都不同,需針對設計進行探針卡定制。
  • 主要需求:
    • 客製化pitchpad類型(padbumpcopper pillar等)對應。
    • 模組化設計,便於維修或升級。
    • 縮短交期,部分高端要求4~6週內交付。

ATE平台的相容性

  • 背景:探針卡需與既有的自動測試設備(ATE)整合,確保測試流程順暢。
  • 主要需求:
    • 相容於主流ATE品牌如AdvantestTeradyne等。
    • 支援自動對位、測試腳位自動調整。
    • 機構接口與信號路徑需符合平台技術規範。

溫控與散熱能力

  • 背景:部分測試會在高溫或低溫條件下執行,探針卡需因應熱變形與電性變化。
  • 主要需求:
    • 支援-40°C ~ 125°C的溫控測試範圍。
    • 良好的熱傳導設計,減少熱漂移。
    • 材料熱膨脹係數(CTE)匹配性高,避免位置誤差。

ESD防護與信號隔離

  • 背景:測試環境可能造成靜電損害,特別是對於小尺寸、高靈敏度IC
  • 主要需求:
    • 具備ESD保護設計(如TVS、接地架構)。
    • 減少訊號間干擾的屏蔽與隔離設計。
    • 適用於AnalogRF等高敏感度測試環境。

良率與資料回饋功能

  • 背景:探針卡品質直接影響晶圓測試良率,需可追溯與分析的工具。
  • 主要需求:
    • 支援探針壓痕分析、對位準確性記錄。
    • 自動記錄使用次數與維護需求。

搭配Smart Probe技術,實現數據驅動的維護與故障診斷。